无尘室中不论外面的空气条件如何发生变化,室内都可以维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能。
无尘室最主要的作用就是控制产品(如硅芯片等)与所接触大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好环境中生产、制造,这样的空间我们叫做无尘室。按照国际上的规定,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓的无尘并非百分之百意义上没有一点灰尘,而是将灰尘量控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的不能再小了,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必需的要求。
每立方米将大于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高的芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。
用途分类:
⑴、工业无尘室
主要以无生命微粒的控制为对象。主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染,内部一般保持正压状态。它适用于精密机械工业、电子工业(半导体、集成电路等)宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产品工业(光盘、胶片、磁带生产)LCD(液晶玻璃)、电脑硬盘、电脑磁头生产等多行业。
⑵、生物无尘室
主要控制有生命微粒(细菌)与无生命微粒(尘埃)对工作对象的污染。又可分为;
A、 一般生物无尘室,主要控制微生物(细菌)对象的污染。同时其内部材料要能够经受各种灭菌剂额侵蚀,内部一般保证正压。实质上其内部材料要能经受各种灭菌处理的工业无尘室。例:制药工业、医院(手术室、无菌病房)食品、化妆品、饮料产品生产、动物实验室、理化检验室、血站等。
B、 生物学安全无尘室:主要控制工作对象的有生命微粒对外界和人的污染。内部要保持与大气的负压。例:细菌学、生物学、洁净实验室、物物工程(重组基因、疫苗制备)